マイクロフォーカスX線検査装置SMX-1010
(島津製作所)
300万画素の高解像度フラットパネル検出器と独自のHDR処理により、広視野かつ高精細な画像を実現したマイクロフォーカスX 線検査装置。ワーク交換後わずか5秒で検査を開始できるなど、検査時間を大幅に短縮。CT機能により三次元解析も可能となり、幅広い検査ニーズに対応。
搭載可能なワーク
350×450mm 以下 高さ100mm以下 最大5kg
空間分解能
5μm(JIMA チャート RT RC-05 相当)[ 理論値](カーボン板上でJIMA RT RC-05 ミクロチャート 7μmのMTF(Modulation Transfer Function)0.1以上)
透視観察ストローク
X:±150mm Y:±175mm Z:250mm 傾動:60度
検出器
受光面サイズ:64×57mm 約150万画素
定格出力
90kV‒250μA MAX 10W
搭載可能サイズ
(VCTユニット)
最大Φ80×125mm 付属チャック使用時
基板:80×125mm以下(厚みは1~2mm程度)
小物ワーク:Φ20×125mm以下
積載質量
(VCTユニット)
100g以下
検査視野
(VCTユニット)
Φ5mm×H3.9mm~Φ25mm×H19.5mm
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